평행광원이 8mm 두께의 Glass에 1.5 °로 입사되는 경우 허용되는 최대 Scratch의 크기(㎛)
입사각 : 1.5 °이고 Glass두께 : 8mm 일 경우,
Snell’s Law : n1sinq1 = n2sinq2 ,1x sin1.5 ° = 1.52 x sinq2
q2 = 0.99 °, d = 8mm x Tan 0.99 ° = 0.138mm = 138㎛
허용할 수 있는 최대 Scratch 크기(㎛) : 2 x d = 276 ㎛
즉, V=0 이 되는 Scratch 크기 W?2d (276 ㎛)가 만족돼야 Scratch로 인한 Pattern 불량이 발생하지 않는다.
Collimation beam 및 밀착식 노광 조건의 허용 Scratch size
평행광원이 일정한 두께의 Glass 에 여러 입사각으로 조사될 때 최대 허용되는 스크래치의 크기는 다음과 같다.
Collimation beam 및 밀착식 노광 조건의 허용 Scratch size 평행광원이 아니고 산란광이 일정한 두께의 Glass에 여러 입사각으로 조사될 때 최대 허용되는 스크래치의 크기는 다음과 같다.
