UV 세정의 개요
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세정 방법별 접촉각

세정 방법은 고전적인 수세 (Wet Cleaning), IPA 세정, 플라즈마 세정, Excimer 세정등 여러가지가 사용된다. 각 방법별 접촉각과 투자비, 운전비 등을 보면 다음과 같다.

No
세정 방법
접촉각( ˚)
회로 Damage
초기 투자비¹
운전비²
비 고
1 무처리 glass 기판
28
No
0
0
 
2 세제->시수->CH계 용제
42
No
10
200
 
3 세제->시수->IPA
15
No
15
300
 
4 세제->시수->DI Water
19
No
250
200
 
5 세제->시수->오존수
10
No
200
100
 
6 세제->시수->Plasma
4
Yes
250
70
 
7 세제->시수->UV/O3
4
No
100
100
 

*1. 초기 투자비¹ : 초기 투자비는 UV/O3를 100으로 할 때 임의로 추산한 것임
*2. 운전비² : 운전비는 시수비용은 제외하고 UV/O3를 100으로 할 때 임의로 추산한 것이며, 세정량과 정밀도에 따라 다를 수 있음
.