UV O3 세정ㆍ표면개질의 장점

단파장의 자외선에 의한 세정ㆍ표면개질은 고가의 아크 플라즈마, 진공 플라즈마기가 불필요하며 플라즈마의 문제점인 streamer 나 arc의 발생을 원천적으로 제거함으로써 기판에 damage 없이 정밀 세정을 할 수 있으며. 다른 건식 세정에 비해 다음과 같은 장점을 가지고 있다.

1. 세정 효과가 높다.( 접촉각 > 5 ? )
2. 플라즈마에 비해 라인 신뢰성이 높다.
3. 고전압을 사용하지 않으므로 Trouble Free 이다.
4. 분위기 가스가 직접 이온화 하지 않으므로 Circuit 에 Damage가 없다.
5. 라인의 확장성 용이하다
6. Line Speed Up이 용이하다
7. 연속 생산 공정이 가능하다
8. 시설 투자비가 적게 든다.