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In-line 용 평행광 노광 UNIT


Full Automatically Collimated Exposure Unit For In-Line
 
Specification

APPLICATIONS

정밀 Pattern 노광

Model No.

EMAH5K-1

Light Source

One Short Arc 5kw Lamp

Power Supply

AC 3Φ / 380 V / 60 ㎐ / 7Kw

Cooling System

Forced Air Cool

Valid Exposure Size

350 ~ 450 ↓

Reflector

Ellipsoidal Mirror with Optical parts

Dimension( W x D x H )

1200 * 600 * 1800


* 인라인용 평형광 노광기는 Fine Pattern용 자동 평행광 노광기의 Exposure Unit으로서 Lead Frame, EMI Filter, CSP등의 제조에 널리 사용되고 있는 Model 이다.
*FPC 정밀 Patten용으로 개발된 제품으로 Beam Unifomaily가 95%이상이고 UV Flux는 20~25㎽/㎠에서 제품이 처리된다.
* Half-Collimations Angle이 1 degree 이하로서 Resolution은 10~30㎛를 가지고 양산에 널리 사용되고 있다.
* Light Source는 5KW Short arc uv lamp 1등을 사용하는 “단면 노광방식”이며, Lamp House/chamber내의 Temperature Control은 독립적인 Feedback System 으로 최적 상태로 조정되며, 제품 처리 속도는 3~4 Panel/min이다.
*Size가 Compact하고, 전체 System에 대해 장,탈착 가능한 구조로 개발된 제품인 까닭에 Space 절약 및 Application등이 매우 용이하다.
* 여러가지 Optical 및 Mechanical Filter의 사용으로 장비의 내구성 및 수명 등을 향상시켰으며, 漏光 및 구동 시 소음을 최소화 하였으며, 유지. 관리 및 Troubleshoot가 용이하며, 안전성을 향상시킨 Model 이다.