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>안녕하세요 (주)에스엔텍 김승기입니다.
>(주)에스엔텍 은 진공장비 설비업체로 Wafer Cleaning 목적으로
>UV Lamp 를 구매하고자 합니다.
>현재 도면은 구상 중이며 Wafer 6inch 1장 기준에 맞는 크기이면 됩니다.
>하여 Lamp 크기는 6inch Wafer 를 Cleaning 할 수 있는 크기면 되며 이에 맞는 사양으로 견적해 주시기 바랍니다. 본 컨셉은 연구용으로 Wafer Cleaning이 목적입니다. (Plasma Cleaning 에 Damage 가 있어 UV Cleaning 으로 사용할 목적)
답:
김승기 님은 참 대단하십니다. 많은 사람들이 진공장비 내부에서 uv경화나 uv Cleaning 목적으로 UV Lamp를 사용하고져 시도 했으나 실패하는 경우가 대부분인데 아무런 코멘트 없이 Wafer 클리닝용으로 단파장 UV Lamp를 도입하려는 걸 보니 대단하십니다.
uv Cleaning 목적으로 Lamp를 성공적으로 도입하기 위해서는 클리닝할 웨이퍼의 불순물이 단파장 UV Lamp로 얼마나 잘 제거되는지 테스트한 후에 도입하는 것이 좋을 듯합니다.
당사에서 공급 가능한 규격은 20W이고 램프전체 길이는 250mm이며 6인치 웨이퍼면 6개를 사용해야 합니다.
1램프 1개당 25만원이며, 파워는 12만원입니다.
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