> Die bonding Ϸ LF Wire bonding RF ö ϰ ֽϴ.
>, 100% Ϻϰ ʴ° Ƽ, UV ؼ 帳ϴ.
>
>ű ڰ Ͽ, ã ֽϴ.
>UV ȿ ȴٸ ϳ ɰԴϴ.
>UV / Ҽ ?
>1. Sample 帮ڽϴ.
>亯 ٸڽϴ
:
Die bonding LF ǥ ŷڼ Ȯ ̱.
RF ȿ ϰ, Ϻ Ͽ ǥ Ȯ Ѱ ϴ.
RF ȿ ϰ ȹ̼ Ҽ uv ŵ ȿ ϴ.
Ҽ Ҽ ü ƾ ϴµ ؼ Ҽ ̽ (Ƹ ˴ϴ) ȭ ؾ մϴ.
.
Ҽ Ҽ Ҽ ߾ մϴ. Ҽ κ SiO2, CaCO3 ִµ ̷ ݼ ҿ յǾ ־ ſ Stableմϴ. ٸ ǥδ ȭ ũǷ SiݼӰ ū ΰϰ, ÿ Si ָ RFó ŷڼ ϴ.
Ҽ C, H, O ȭչε ź , Ұ Ŀ տ ٸϴ. C-C 84.3 kcal/mol , C-O 76.4kcal/mol , O-H 109.3 kcal/mol , C-Hտ97.6 kcal/mol Դϴ.
չ ϸ , ִĿ ص ź, , Ҵ ٸ 3 ϴ. ̶ ִ ٷ UV ̰, UV 185nm 154.7 K Cal/mol, 254nm UV 113 K Cal/molԴϴ. տ ũǷ , ص CO2, H2O մϴ. ذ ź갡 µ ̶ Ұ ʿմϴ.
̷ ȭ UV Ȥ ̶ մϴ.
185nm 154.7 K Cal/mol UV ź, , ҵ տ ſ Ƿ ӵ ſ ְ, ȿ ų ϴ. ̷ ϴ RFöԴϴ. RFε ŷڼ , ̼ ȸΰ ũ ,
å ϴµ, UV Ʈ ϴ Դϴ.
ȭѹ ֽø ȳ 帮.
ʹ ư ִ ̾ϸ, ȭ ̷ ǥ ۿ ϴ..
UV Ҽ ϴ ڴ ŵ˴ϴ. β ũ β ( 1 β nm) ̹Ƿ mm ũ Ҽ ϴ ð ſ ɸǷ ǹ 並 ؾ մϴ.
|