고순도 가스의 충전량과 밸브 규격

고순도 가스의 충전량과 밸브 규격

고순도 가스의 충전량과 밸브 규격

액화가스	CVD용 가스
실란계 가스	도핑용 가스
애칭/크리닝용 가스	대기오염감시용 표준가스
전자관 및 형광관용 가스	레이저 발진용 가스

고순도 가스의 충전량과 밸브 규격

가스명 Name of Gas	순도 (%)	용기 (L)	충전량	밸브규격
N₂ 고순도 질소	99.999	10 47	1 m³ 7 m³	∮22 - 14 山右
N₂ 초고순도 질소	99.9999	10 47	1 m³ 7 m³	∮22 - 14 山右
O₂ 고순도 산소	99.995	10 47	1.5 m³ 7 m³	∮23 - 14 山右
H₂ 초고순도 수소	99.9999	10 47	1.5 m³ 7 m³	∮22 - 14 山左
Ar 초고순도 알곤	99.9999	10 47	1.5 m³ 7 m³	∮22 - 14 山右
He 초고순도 헬륨	99.9999	10 47	1.5 m³ 7 m³	∮22 - 14 山右

액화가스

가스명	순도 (%)	용기 (L)	충전량
LAr 고순도 액화알곤	99.9997	3 Ton 5 Ton 10 Ton 15 Ton 20 Ton 30 Ton	2,900ℓ 4,900ℓ 8,900ℓ 13,500ℓ 18,000ℓ 27,000ℓ
LN2 고순도 액화질소	99.9997
LO2 액화산소	99.7

CVD용 가스

가스명 Name of Gas	순도 (%)	용기 (L)	충전량	밸브규격
NH3 암모니아	99.999	10 47	5 kg 20 kg	∮22 - 14 山右
CH4 메탄	99.9995	10 47	500ℓ 2.5 m³	∮22 - 14 山右
N2O 아산화질소	99.999	10 47	7.5 kg 30 kg	∮23 - 14 山右
WF6 육불화텅스텐	99.999	3.5 10	2 kg 5 kg	∮22 - 14 山左
MOF6 육불화몰리브덴	99.95

실란계 가스

가스명 Name of Gas	순도 (%)	용기 (L)	충전량	밸브규격
SiH4 모노실란	99.999 (SiH4+H2)	10 47	5 kg 20 kg0.3 kg 0.5 kg 2.5 kg 5, 10 kg	∮22 - 14 山右
Si2H6 디실란	99.99	1 3.4 10	500ℓ 2.5 m³0.2 kg 0.3, 0.5 kg 1.2 kg	∮22 - 14 山右
SiCI4 테트라- 클로로실란	99.9999	10 (SUS제) 30 (SUS제)	7.5 kg 30 kg10 kg 30 kg
SiH2CI2 디클로로실란	99	10 (SUS제) 40 (SUS제)	2 kg 5 kg5, 10 kg 40 kg	∮22 - 14 山左
SiF4 테트라- 플루오르실란	99.999	3.4 10 47	0.3 kg 1 kg 5 kg	∮23 - 14 山右

도핑용 가스

가스명 Name of Gas	순도 (%)	용기 (L)	충전량	밸브규격
B2H6 디보란	99.995	10 47	혼합가스	∮22 - 14 山右
PH3 포스핀	99.999	10 47	혼합가스	∮22 - 14 山右
AsH3 아신	99.9995	10 47	혼합가스	∮22 - 14 山右

애칭/크리닝용 가스

가스명 Name of Gas	순도 (%)	용기 (L)	충전량	밸브규격
HCI 염화수소	99.999	10 47	5 kg 25 kg	∮22 - 14 山右
CI2 염소	99.999	10 47	1 kg 10 kg 50 kg	∮22 - 14 山右
BCI3 삼염화붕소	99.999	1 10 47	1 kg 10 kg 50 kg	∮22 - 14 山右
CCI4 사염화탄소	99.999	1 (SUS제) 10 (SUS제) 47 (SUS제)	1 kg 10 kg	∮22 - 14 山左
NF3 삼불화질소	99.99	1 10	0.3 kg 1 kg 5 kg	∮23 - 14 山右
SF6 육불화황	99.999	3.5 10 47	10 kg 40 kg	∮23 - 14 山右
CF4 사불화탄소	99.999	10 47	7 kg 32 kg	∮23 - 14 山右
CHF3 삼불화메탄	99.999	10 47	5kg 20 kg	∮23 - 14 山右
C2F6 육불화에탄	99.999	47	30 kg	∮23 - 14 山右

대기오염감시용 표준가스

가스명		조성	용기(L)	충전량	밸브규격
대기오염 감시용	CO	CO 10~500ppm N2 Balance	10 47	100 kg/㎠	∮22 - 14 山右
	HC	CH4 0.5~50ppm N2 or AIR Balance
		C3H8 3~10ppm N2 or AIR Balance
	NOx	NO 25~100ppm N2 Balance
매연측정 가스용	SO2	SO2100~500 ppm CO2 5~20% N2 Balance	10 47	100 kg/㎠	∮23 - 14 山右
		SO2100~4000ppm N2 or AIR Balanc
	NOx	NO100~1000 ppm CO2 5~20% N2 Balance
		NO100~2000 ppm N2 Balance
폐가스 확산 실험용	SF6	SF6 0.1~10 ppm N2 Balance	10	100 kg/㎠	∮23 - 14 山右
연소기구 배기가스 측정용	O2 CO2	O2 1~10% CO2 10~20% N2 Balance	10 47	100 kg/㎠	∮23 - 14 山右
		O2 1~10% N2 Balance
자동차 배기가스 측정용	CO	CO 10 ppm~12% N2 Balance	10 47	100 kg/㎠	∮23 - 14 山右
	CO-H2	CO 1~6% H2 0.5~3% N2 Balance
		CO2 0.5~16% N2 Balance
	CO2	C3H8 100~26000 ppm N2 Balance
	C3H8	C3H8 3~3000 ppm Air Balance
	n-C6H14	n-C6H14 50~2000ppm N2 Balance
	O2	O2 2~25% N2 Balance
	NO2	NO2100~500 ppm N2 Balance
	NO	NO 5~6000 ppm N2 Balance

전자관 및 형광관용 가스

가스명 Name of Gas	순도 (%)	용기 (L)	충전량	밸브규격
Ne-Ar	Ne(N30) 75% Ar(N60) 25%	10 47	1 m³ 5 m³	∮22 - 14 山右

레이저 발진용 가스

가스명	조성	용기 (L)	충전량	밸브규격
HCI-He	HCI 5% He Balance	10 47	1 m³ 5 m³	∮22 - 14 山右
F2-He	F2 5% He Balance	10 47	1 m³ 5 m³	∮22 - 14 山右
CO-N2-CO2-He	CO 2% N2 8% CO2 8% He Balance	47	5 m³³	∮22 - 14 山右
N2-CO2-He	N2 13.5~20% CO2 4.5~6% He Balance	47	5 m³	∮22 - 14 山左
F2-Ar-Ne	F2 0.1%~10% Ar 1%~25% Ne Balance	10 47	1 m³ 5 m³	∮23 - 14 山右
HCI-Xe-H2-Ne	HCI 0.1%~1.0% Xe 1%~10% H2 0.02% ~ 0.05% Ne Balance	10 47	1 m³ 5 m³	∮23 - 14 山右